포러스플레이트

포러스플레이트

제품소개

  • 포러스플레이트란?

    Ceramic porous vacuum plate

    포러스 플레이트는 초미세 다공질 세라믹으로 대상면을 일정한 진공으로 흡착하여 고정하고자 할때 흡착면 전면에 균일한 흡착이 가능하며,
    흡착물이 변형되거나 흡착 자국이 남지 않습니다. 최근 ‘반도체, 디스플레이 및 LED 고정도 분야’에 진공흡착 기술 사용이 확대되고 있습니다.

포러스 플레이트의 작동 원리

적용분야 및 산업

웨이퍼 및 칩셋 가공 분야

  • Wafer 가공 클램프
  • 검사 및 측정 장치
  • 박막 가공 스테이지 (클램프 배드)
  • 롤러블 장비 제조 공정

반도체 및 디스플레이 검사 제조분야

  • 반도체 · 웨이퍼 검사용 장비
  • 디스플레이용 Glass 검사 스테이지
  • 롤러블 장비 제조 공정용 장비
  • 강화 유리 제조 공정용 장비

태양광 분야

  • CLGS 제조 공정
  • 실리콘 소재 Solar Cell 제조 공정

기타 적용 분야

  • PCB 가공 검사
  • Glass-Lens 연마 가공기 워크 흡착

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